08 Maseveon stotis + LC degazavimo įrenginys

Masevon Station Chamber Up-Down + + LC Degassing Unit

1. Einführung:
1. Dieses Dokument beschreibt die funktionalen Anforderungen an eine:
1.1. LC-Tray-Entgasungskammer
Pgjdjwam Sajpfx Afwew
1.2. Die LC-Tray-Entgasungskammer ist eine (gesteuerte Vakuumkammer), in der ein Aluminiumtray mit LC-Flüssigkeit über einen definierten Zeitraum in einer Vakuumumgebung entgast wird (d.h. eingeschlossene Luft wird entfernt).
Vakuumprofil:
1.1. Druck-Sollwerte frei einstellbar zwischen 1,1·10³ und 1,1·10⁻³ mbar
1.1.1. Messbereich: 1,1·10³ – 5,0·10⁻⁴ mbar
1.2. Zeit-Sollwerte frei einstellbar zwischen 1 und 600 min je Schritt
1.2.1. Entgasungsschritt (D) kann von Minuten bis zu Tagen dauern
1.3. Evakuierungs- und Belüftungsraten müssen regelbar sein
1.4. Der Evakuierungszyklus (A–D) wird automatisch ausgeführt
1.4.1. Der Belüftungsschritt (E) muss manuell (durch den Bediener) aktiviert werden
1.5. Typisches Entgasungsprofil
2. Innenraum:
2.1. Edelstahl (Aluminium) polierte Prozesskammer (innen)
2.1.1. Leckagerate ist zu besprechen
2.2. LC-Tray (Adapter) Schubfach zum einfachen (Ent-)Laden des LC-Trays (keine Stoß-/Schüttelbewegung zulässig), siehe Abschnitt 2 LC-Tray-Abmessungen und Anhang 1
2.3. LC-Tray muss jederzeit waagerecht (wasserpas) stehen, um ein Auslaufen der LC-Flüssigkeit zu verhindern
2.4. Kammer muss für Reinigung und/oder (Ent-)Laden des LC-Trays einfach und schnell zugänglich sein
2.5. Das Kammerinnere muss poliert sein, um eine einfache Reinigung sowie das Verhindern von Kontamination oder Feuchtigkeitsansammlung zu gewährleisten
2.6. Überwachungsmöglichkeit (Sichtfenster) des Entgasungsprozesses, d.h. Beobachtung des Verhaltens der LC-Flüssigkeitsoberfläche im Tray
2.7. Keine Prozesskontamination durch Kammermaterial (bzw. Herstellung)

Skelbimas verčiamas automatiškai, todėl jame gali būtų vertimo klaidų.